NS系列高精度探针式轮廓仪台阶仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

VT6000材料3D测量共聚焦显微镜是基于光学共轭共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

SuperViewW非接触式3D白光干涉仪基于白光干涉原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

NS200接触探针式微纳米测量台阶仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。

VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

SuperViewW白光干涉3D材料表面轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节。可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。