Super View白光干涉仪国内品牌采用的测量方式是非接触无损测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。集合了自身白光干涉三维重建技术和微纳米显微测量三维软件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重复性0.1%，比肩进口品牌，让轮廓测量价格*为实惠。

中图仪器白光干涉仪专用于非接触式快速测量，具有三维形貌测量和图像分析的功能。适合检测的样品按领域分为微纳材料、超精密加工（机械、光学）、半导体封装、消费电子类这四个领域。

SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行自动化形式的测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。