有图晶圆共聚焦高精度测量显微镜横向分辨率高,所展示的图像形态细节更清晰更微细,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
NS系列微观二维形貌轮廓台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度。
NS系列探针式轮廓薄膜表面台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
VT6000材料共聚焦3D测量显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。所展示的图像形态细节更清晰更微细,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。
NS系列探针接触式台阶高度仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
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