VT6000材料3D测量共聚焦显微镜是基于光学共轭共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

VT6000三维形貌共聚焦材料测量显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护。

有图晶圆共聚焦高精度测量显微镜横向分辨率高，所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000材料共聚焦3D测量显微镜一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

VT6000超分辨率转盘共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，结合精密纵向扫描等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，是实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。