VT6000系列3D微观形貌共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，3D 建模算法等，对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

NS系列纳米测厚台阶仪测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数时，采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

VT6000共聚焦陡峭角度测量显微镜以共聚焦技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

NS系列中图国产台阶膜厚仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

中图仪器SuperViewW白光三维测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。