共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。VT6000共聚焦光学测量显微镜技术以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。

NS200台阶厚度测量仪能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪。

SuperViewW系列3d白光干涉仪是以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，是一款用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的纳米级测量仪器。

SuperViewW1三维白光干涉表面形貌仪以白光干涉技术为原理，可测2D/3D轮廓、粗糙度，300余种特征参数，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperViewW1三维白光干涉仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，高精度测量；隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

在材料生产领域中，中图共聚焦表面粗糙度测量显微镜能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。