中图仪器激光平面干涉仪具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点，不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。

中图仪器SJ6000自制激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。

中图仪器品牌的激光干涉仪可以检测加工中心及机床、三坐标测量机的各项精度参数，使被加工工件符合标准，提高了产出的整体质量度。能实现线性定位精度、直线度、角度、回转轴等几何量测量功能，同时结合不同的光学镜组，还能检测运动导轨的俯仰角、直线度和垂直度、扭摆角，记忆校准机床的回转轴精度。

SJ6000深圳工业激光干涉仪可以实现一次安装即可沿任意方向的线性轴同时测量5个自由度的误差，包括1个线性误差、2个角度误差和2个直线度误差，专门用来测量、校准数控机床、三坐标、自动化设备等导轨的运动精度，尤其是在数控机床领域，SJ6000激光干涉仪是强有力的检测仪器。

SJ6000国产便携激光干涉仪可进行动态高速测量，配以相应元件后可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。它还可以弃普通车间进行应用，环境适应能力强。

SJ6000激光干涉仪检测设备可以检测线性、角度、直线度、垂直度等几何量，可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。