3D光学表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

3d光学轮廓仪SuperView W1，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

SuperViewW1光学轮廓仪检测仪是中图仪器推出的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，用于对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。