SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

3d光学干涉轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器SJ5730接触式3D轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，该仪器具有12mm的粗糙度测量范围，分辨率达到1nm，适合测量大曲面上的表面粗糙度，同时具备轴承轮廓度评价功能，能够满足轴承行业的测量需求。

SuperViewW1光学三维轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

SJ5730高精度轮廓度测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

SuperViewW1轮廓度光学测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。针对芯片封装测试流程的测量需求，SuperViewW1非接触式光学轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围，可覆盖8英寸及以下晶圆，定