激光干涉仪的应用涉及到多个领域

　　激光干涉仪采用了激光干涉原理，将物体的微小变形转化成光学信号，并通过计算机进行数值化分析，实现高精度测量。主要用于测量物体的形态、表面形貌、薄膜厚度等。
 

　　它主要由激光器、分束器、反射镜、光学系统、探测器、数据采集及处理系统等组成。在实际应用中，常用于表面形貌及薄膜厚度等微小变形的测量。其原理是将获得的干涉图像信号转换成电信号，再进行数字化后，通过数据处理系统进行计算，从而获得要测量的物体或表面形貌等参数。
 

　　与传统的干涉仪相比，激光干涉仪的优点在于，其不受各种环境因素的影响，如光的散射、折射、吸收和偏振等，其测量结果十分准确，可达到亚微米级甚至更高。此外，在测量非常小的尺寸或物体表面时，还可以实现非接触式的测量。
 

　　它的应用涉及到多个领域，如半导体、光电子、纳米材料、材料加工、机械制造等。在半导体领域，可用于测量晶圆、芯片和器件的厚度、曲率等参数，从而实现精密的加工控制。在光电子领域，可用于测量光学器件和光学透镜的表面形态及微小变形等参数，从而优化光学性能。在材料研究领域，可用于表征各种材料在应力、温度或化学环境下的形貌变化，从而确定材料的性能和应用。在机械制造领域，可用于测量金属、塑料、玻璃等物品的形位尺寸及表面形态，从而实现精密的加工控制。
 

　　其高精度、高分辨率的测量结果，为各种精细制造和纳米技术提供了重要的支持和保障。随着技术的不断创新和发展，激光干涉仪在未来还将有更广泛的应用前景。